Область применения:
Образцовые меры малой длины предоставляют
возможность определять линейные размеры структур, предназначенные для
метрологического обеспечения в широкой области применения. Изготовление мер
производится по специально разработанной для этой цели технологии,
обеспечивающей высокое оптическое качество элементов структуры на прецизионных
фоторезистивных хромированных пластинах. Исходя из требований, предъявляемых при
изготовлении фотошаблонов в полупроводниковой промышленности, структура
образцовой меры выбрана таким образом, что она позволяет проводить
метрологическую аттестацию всех средств измерений, используемых в
технологических процессах микроэлектроники, оптики и электронной оптики. В
структуре образцовой меры наряду со штрихами номинальных размеров в пределах от
1 до 200 мкм реализована штриховая мера с дискретностью 5 мкм в диапазоне до 1
мм и дискретностью 0,1 мм в диапазоне до 80 мм, а также периодическая мера с
периодами от 2 до 400 мкм. Поверка образцовых мер производится дифракционным и
фотометрическим методами на образцовых средствах измерений, разработанных в
СНИИМе (г.Новосибирск). Мера периодическая и ширины: для поверки рабочих средств
измерений: дифракционных измерителей, микроскопов, установок для контроля
линейных размеров элементов фотошаблонов "МТФ", анализаторов микроизображений
типа "Nikon-2A", установок для контроля элементов фотошаблонов "ЭМ-557" и
телевизионных микроскопов типа "Latimet"; Мера штриховая: для поверки рабочих
средств измерений: измерительных микроскопов типа ИМЦ, ИМЦ-Л, проекторов
измерительных типа ПИ, универсальных микроскопов типа УИМ, координатометров,
фотометрических микроскопов ФЭМ, биологических микроскопов типа БИОЛАМ; Мера
совмещаемости: для поверки рабочих средств измерений: микроскопов типа MVG 7x7,
ИМЦ, ИМЦ-Л и др.
Преимущества:
Основное преимущество для пользователя
заключается в универсальности применения образцовой меры. Мера снабжена
поисковыми линиями, визирными линиями для облегчения поиска измеряемых
элементов, что значительно сокращает время настройки, юстировки средств
измерения. Меры изготовлены с качеством, не уступающим зарубежным аналогам, и
аттестуются с высокой точностью. С помощью таких мер возможно проведение
калибровки или поверки практически любого прецизионного оптического и
оптико-механического прибора.
Мера периодическая с периодами 2-400
мкм
Мера периодическая исполняется в
негативном изображении. Погрешность аттестации +(0,05+0,1L) мкм, где
L-измеряемая величина в мм. Элементы А1 А2 А3 А4 А5 А6 А7 А8 А9 А10
А11 А12 А13 А14 А15 Полупериоды Р/2 1 1,5 2 2,5 3 4 5 6 10
15 20 50 100 150 200
Мера штриховая:
Мера штриховая исполняется в негативном
изображении. Погрешность аттестации +(0,05+0,002L) мкм, где L-измеряемая
величина в мм.
Мера ширины:
Мера ширины исполняется в негативном и
позитивном изображении. Погрешность аттестации в пределах 1-20 мкм +0,05 мкм,
свыше 20 мкм +0,1 мкм
Мера совмещаемости:
Погрешность аттестации +(0,05+0,002L) мкм,
где L-измеряемая величина в мм.
